TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率...
SF系列IGS面板專用過濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級(jí)無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便,僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...
W型一體式過濾器.全焊接結(jié)構(gòu),杜絕泄露過濾面積大,流量系數(shù)高,.逆流時(shí),可完成沖洗過程.閥體和過濾元件全滲透焊接.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um.工作壓力可達(dá):414bar(6000psig).工作溫度:-28~+482...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便,僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合,安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障,引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中,用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠...
RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合、安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動(dòng)負(fù)擔(dān)、避...
MF系列儀器保護(hù)專用過濾器,全金屬材質(zhì),專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下,能有效阻隔微粒侵...
DF系列擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,...