KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...
直線過濾器采用316L不銹鋼材質,線型結構緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體,以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar;最高工作溫度204℃;多種過濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應用于實驗室、...
HF系列高壓氣體專用過濾器,用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合,兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...
BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求,整體金屬構造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫燒結制成,具有良好的機械性和剛性,耐高溫、耐腐蝕、透氣,易于清潔的特點;濾芯式的設計可更換濾芯,可以重復使用,使用壽命長;可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質,改善下游干燥機的功能,延長精密...
0F系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...
VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。
半導體制造:在半導體生產(chǎn)過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮氣等。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質進入生產(chǎn)設備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。
OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003um。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...
擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室...
MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...